Refurbishment Work Scope
수리 절차
STEP ①
Tool 입고검사
Tool의 Target spec을 토대로 System 검사
STEP ②
분해
.
STEP ③
세정 및 준비
전체 세정 (Tool body, Cables, Covers, ETC)
Parts Overhaul & 수리
STEP ④
조립
Tool의 Target spec에 맞춰 parts 추가 및 교체
STEP ⑤
기능 검사
Tool Calibration & Vertification
N2 Plasma Turn-on Test
STEP ⑥
최종 검사
Austo Seasoning Test
Refurbishment Work Scope
STEP ①
Tool 입고검사
Tool의 Target spec을 토대로 System 검사
STEP ④
조립
Tool의 Target spec에 맞춰 parts 추가 및 교체
STEP ②
분해
.
STEP ⑤
기능 검사
Tool Calibration & Verification
Plasma Turn-on Test
STEP ③
세정 및 준비
전체 세정 (Tool body, Cables, Covers, ETC)
Parts Overhaul & 수리
STEP ⑥
최종 검사
Auto Seasoning Test