TEST SYSTEM
기능 검사 시스템
Functional Test System
Fab 환경과 같은 독자적인 Functional Test System 보유
실제 Fab 설비 또는 같은 기능의 장비를 활용한 Functional Test System
출고 전 72시간 및 최소 1000회 이상의 Marathon / Burn-in test 진행
Vacuum Robot에 대한 Base pressure 확인, Leak rate 측정 및 Outgassing 사전 제거 진행
TEST SYSTEM
Functional Test System
• Fab 환경과 같은 독자적인 Functional Test System 보유
• 실제 Fab 설비 또는 같은 기능의 장비를 활용한 Functional Test System
• 출고 전 72시간 및 최소 1000회 이상의 Marathon / Burn-in test 진행
• Vacuum Robot에 대한 Base pressure 확인, Leak rate 측정 및
Outgassing 사전 제거 진행
