Robotics Repair Service

• 고객 안전재고를 위한 기본 수리

• 고장 원인에 대한 수리 및 모든 소모품 교체

• 4 weeks lead-time

• Robot, Controller, Aligner & Loadport


Robotics Repair Service

Service Available

고객 안전재고를 위한 기본 수리 / 고장 원인에 대한 수리 및 모든 소모품 교체 / 4 weeks lead-time / Robot, Controller, Aligner & Loadport


Tool Refurbishment

ETCH Tool Refurbishment


ETCH Tool Refurbishment 

중고 장비의 Target Spec에 맞춰 Refurbishment 진행 

Refurbishment를 위한 최적의 Cleanroom 보유 

System Test에 최적화된 Facility & Utility System 구축 

N2, He gas를 이용하여 Wafer seasoning 및 Plasma test 

장비사 출신의 오랜 경력을 가진 Engineer 보유 및 다량의 Projetct 경험 


System Manufacturing and Assembly Service 

Etch System Refurbishment 

Etch System Retrofit (Version Upgrade, Size Conversion) 

Etch System Site Set-up

교환프로그램


Tool Refurbishment

• ETCH Tool Refurbishment 

• 중고 장비의 Target Spec에 맞춰 Refurbishment 진행 

• Refurbishment를 위한 최적의 Cleanroom 보유 

• System Test에 최적화된 Facility & Utility System 구축 

• N2, He gas를 이용하여 Wafer seasoning 및 Plasma test 

• 장비사 출신의 오랜 경력을 가진 Engineer 보유 및 다량의 Projetct 경험 


• System Manufacturing and Assembly Service 

• Etch System Refurbishment 

• Etch System Retrofit (Version Upgrade, Size Conversion) 

• Etch System Site Set-up


Part Development

• KLA의 LCD 검사 설비에 적용되는 새로운 tile chuck 디자인에 참여

• 매년 약 1000 pcs 공급

• 효율적인 공정 개선을 통해 높은 비용, 품질 관리 그리고 배송 문제에 대한 고객의 어려움 해소

mobile background

Part Development

Involving to design new vacuum chuck

KLA의 LCD 검사 설비에 적용되는 새로운 tile chuck 디자인에 참여

매년 약 1000 pcs 공급

효율적인 공정 개선을 통해 높은 비용, 품질 관리 그리고 배송 문제에 대한 고객의 어려움 해소