Repair Environment
수리 환경
Refurbishment를 위한 최적의 Cleanroom 보유
System Test에 최적화된 Facility & Utility System 구축
N2, He gas를 이용하여 Wafer seasoning 및 Plasma test
Repair Environment
Repair Environment
• Refurbishment를 위한 최적의 Cleanroom 보유
• System Test에 최적화된 Facility & Utility System 구축
• Wafer seasoning 및 Plasma test